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稀土Nd掺杂FeCo纳米磁性薄膜的结构和磁性

席力 , 周军军 , 孙青锦 , 卢建敏 , 张喆 , 李发伸

功能材料

利用射频磁控共溅射方法,通过改变Nd靶溅射功率,制备了一系列Ta/Ndx(FeCo)100-x/Ta纳米薄膜.研究了其结构和磁性随Nd含量和真空磁场退火温度(T)的变化关系.X射线衍射研究表明制备态的薄膜为非晶态,随着退火温度的升高,逐渐析出FeCo纳米晶,随T的进一步升高,FeCo纳米晶粒逐渐变大...

关键词: 纳米晶 , 真空磁场退火 , 软磁薄膜