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氮气流量对ZrN/Zr薄膜色度特性的影响

李新领 , 周志男 , 孙维连 , 孙铂 , 王会强 , 安广

表面技术

采用中频孪生靶磁控溅射技术,在不锈钢和铝基体上沉积出ZrN/Zr薄膜,表征了薄膜的厚度、色度及表面形貌,研究了氮气流量对ZrN/Zr薄膜的沉积速率和色度的影响.结果表明:随着氮气流量的增加,薄膜的沉积速率先降低,后升高,氮气流量在2.5×10-10～3.5×10-10 m3/s范围内时对薄膜的沉积速...

关键词: 氮气流量 , ZrN/Zr薄膜 , 色度 , 沉积速率 , 中频孪生靶