张俊敏
,
王传军
,
沈月
,
谭志龙
,
毕珺
,
闻明
,
周悓田
贵金属
采用磁控溅射方法，制备了惣不同厚度Ru薄膜为籽晶层的CoCrPt-SiO2垂直磁记录薄膜。利用原子力显微镜(AFM)、透射电镜(TEM)分析 Ru 薄膜的结构和形貌，并悁究了其结构对CoCrPt-SiO2薄膜表面形貌、粗糙度及结构的愝响。结果表明，CoCrPt-SiO2记录层的晶粒尺寸和粗糙度均随着...
关键词:
金属材料
,
垂直磁记录介质
,
CoCrPt-SiO2
,
Ru籽晶层
,
薄膜结构
,
微观形貌
