张龙龙
,
周炳卿
,
张林睿
,
高玉伟
硅酸盐通报
采用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)以SiH4和N2为反应气体,分别在射频功率、硅烷稀释度[SiH4/N2]、衬底温度为变量的情况下制备了富硅氮化硅薄膜材料,利用X射线衍射谱(XRD)、傅里叶变换红外谱(FTIR)、紫外-可见光吸收谱(UV-Vis)对薄膜材料进行了表征,并研究了薄膜材料的微...
关键词:
PECVD
,
富硅氮化硅薄膜
,
非晶结构
,
光学带隙
王立娟
,
周炳卿
,
那日苏
,
金志欣
,
田晓
材料科学与工程学报
对晶向为（100）的p型单晶硅片进行表面刻蚀,制作减反射绒面。本实验是在传统氢氧化钠-异丙醇混合液中分别加入不同浓度的醋酸钠溶液、硅酸钠溶液和碳酸钠溶液对单晶硅片进行刻蚀。实验发现：分别加入醋酸钠溶液、碳酸钠溶液并没有在降低表面反射率方面起到很大作用,而只有加入硅酸钠溶液降低了表面反射率,有利于形成...
关键词:
单晶硅
,
表面形貌
,
腐蚀
,
醋酸钠
,
硅酸钠
郝丽媛
,
周炳卿
,
陈霞
,
韩兵
,
那日苏
,
王立娟
材料导报
采用溶胶-凝胶(Sol-gel)法在玻璃衬底上制备了纳米TiO2薄膜.采用X射线衍射仪(XRD)、紫外可见一光谱(UV/vis)和原子力显微镜(AFM)对纳米TiO2进行表征.结果表明,经300～700℃退火得到的TiO2粉体呈锐钛矿相,经800℃退火得到了锐钛矿相与金红石相的混合晶相,经900℃退...
关键词:
TiO2薄膜
,
溶胶-凝胶法
,
光催化
张林睿
,
周炳卿
,
张丽丽
,
李海泉
人工晶体学报
采用射频等离子增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术在低温、高沉积压力的条件下制备微晶硅薄膜材料.在优化其它沉积参数的条件下,研究等离子功率密度对微晶硅薄膜材料微结构的影响.通过X射线衍射谱,拉曼光谱,红外吸收谱以及SEM来表征了微晶硅薄膜材料的微结构.结果显示:随着射频功率的增加,微晶硅薄膜的晶...
关键词:
微晶硅薄膜
,
化学气相沉积
,
微结构
韩兵
,
周炳卿
,
郝丽媛
,
王立娟
,
那日苏
材料导报
运用AMPS软件结合相关实验数据,利用微晶硅带隙与材料晶相比的关系,对pin型微晶硅薄膜太阳电池i层带隙渐变结构的总光生载流子产额、载流子复合速率等参数进行了模拟,并与普通pin型微晶硅薄膜太阳电池进行了对比分析.结果表明,一方面带隙渐变结构增加了进入微晶硅i层作为活性层的光吸收;另一方面渐变各层之...
关键词:
渐变带隙
,
微晶硅
,
太阳电池
张丽丽
,
周炳卿
,
张林睿
,
李海泉
材料导报
以(CH3COO)2Zn·2H2O为前驱物,利用溶胶-凝胶旋转涂膜法以普通玻璃为基底制备ZnO薄膜.分别采用X射线衍射仪、紫外-可见分光光度计和扫描电子显微镜等对ZnO薄膜的物相组分、透射率和表面形貌进行测量与表征.研究了热处理温度对ZnO薄膜的物相结构和光学特性的影响.实验结果表明,ZnO薄膜的物...
关键词:
ZnO薄膜
,
溶胶-凝胶法
,
物相结构
,
表面形貌
,
透射率
王立娟
,
周炳卿
,
那日苏
,
金志欣
材料导报
对晶向为(100)的p型单晶硅片进行表面刻蚀,制作减反射绒面.选用了一种新型的腐蚀剂,即醋酸钠(CH3COONa)溶液,用来腐蚀单晶硅太阳电池.通过分别改变醋酸钠溶液的浓度、温度以及腐蚀时间对硅片表面进行腐蚀发现,经醋酸钠溶液腐蚀后在硅片表面形成腐蚀坑大小适中、分布均匀的绒面结构.在醋酸钠溶液的质量...
关键词:
单晶硅
,
表面形貌
,
织构
,
醋酸钠
郝丽媛
,
周炳卿
,
韩兵
,
那日苏
,
王丽娟
材料科学与工程学报
本文以钛酸丁酯、三乙醇胺、冰醋酸、盐酸等为主要原料,采用溶胶-凝胶(sol-gel)法和旋转涂膜工艺在玻璃衬底上制备均匀、透明的纳米TiO_2薄膜.利用X射线衍射(XRD)、紫外-可见光谱(UV/vis)和原子力显微镜(AFM)对纳米TiO_2进行表征,结果显示:经500℃退火后,三乙醇胺、冰醋酸作...
关键词:
纳米TiO_2薄膜
,
溶胶-凝胶法
,
光催化活性
张丽丽
,
周炳卿
,
张林睿
,
李海泉
人工晶体学报
以(CH3COO)2Zn·2H2O和AlCl3·6H2O为前驱物,以普通玻璃为基底利用溶胶-凝胶旋转涂膜法制备AZO薄膜.采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、紫外-可见分光光度计、四探针电阻测试仪等对AZO薄膜的物相组分、表面形貌、透射率和方块电阻进行测量与表征,并研究了热处理温度和掺铝量对AZO薄膜...
关键词:
溶胶-凝胶法
,
AZO薄膜
,
光电性能
丁德松
,
周炳卿
,
部芯芯
,
高爱明
硅酸盐通报
采用热丝化学气相沉积法,以Sill4、NH3、N2为反应气源,通过改变氮气流量沉积氮化硅薄膜.通过紫外-可见(UV-VIS)光吸收谱、傅里叶红外透射光谱(FTIR)、X射线衍射谱(XRD)等测试手段对薄膜的光学带隙、键合特性及晶相进行表征与分析.结果表明:薄膜主要表现为Si-N键合结构,当N2流量从...
关键词:
热丝化学气相沉积
,
薄膜
,
氮化硅
,
化学键结构
