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苏岩 , 杨拥军 , 王寿荣 , 周百令
功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2002.02.014
介绍了一种静电驱动、电容检测单自由度硅微振动角速度传感器实验样机的结构、工作原理、加工方法、驱动方法、检测方法和实验结果.实验结果表明,该角速度传感器实验样机已具有一定的性能,其灵敏度为:3.2mV/(o@s-1);量程为:±500o/s;线性度:1%.
关键词: 角速度传感器 , 静电驱动 , 电容检测
