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新型Al_2O_3/BCB多层薄膜复合介质材料的传输线损耗特性

周紫卓 , 王伟 , 谈惠祖 , 孙晓玮

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2010.01.011

本文结合功能材料Al_2O_3和BCB(苯并环丁烯树脂)的特点,创新性地提出了Si/Al_2O_3/BCB多层薄膜复合结构的衬底,利用Al_2O_3高介电常数的优点和BCB薄膜工艺制备厚度的灵活性实现了低传输损耗.本研究采用与CMOS相兼容的半导体制造工艺在三种不同衬底(Si、Si/BCB和Si/A...

关键词: Al_2O_3 , BCB , CPW , 传输损耗