饶瑞
,
徐重阳
,
王长安
,
赵伯芳
,
周雪梅
,
曾祥斌
功能材料
介绍了一种非晶硅薄膜低温晶化的新工艺--金属诱导非晶硅薄膜低温晶化.在非晶硅膜上蒸镀金属铝薄膜,而后于氮气保护中退火,实现了非晶硅薄膜的低温(＜600℃)晶化.利用X射线衍射、光学显微镜及透射电镜等测试方法,研究了不同退火工艺对非晶硅薄膜低温晶化的影响,确定了所制备的是多晶硅薄膜.
关键词:
金属诱导
,
非晶硅薄膜
,
低温晶化
,
多晶硅薄膜
张五星
,
徐重阳
,
王长安
,
史济群
,
周雪梅
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2003.02.012
通过 Sol- Gel方法和半导体工艺,制备出基于 Ba0.8Sr0.2TiO3( BST)薄膜的非致冷红外焦平面 阵列( UFPA)探测单元.用 ANSYS有限元分析软件,对探测单元进行了热分析.分析结果表明: 微桥的大小可以极大的影响薄膜受到辐射后的温度以及薄膜温度的均匀性.对微桥和硅衬底上 的...
关键词:
微桥
,
Sol- Gel
,
BST
,
UFPA
,
介电常数
张五星
,
徐重阳
,
王长安
,
史济群
,
周雪梅
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2002.04.009
采用sol-gel方法制备出BaxSr1-xTiO3(BST)薄膜,并优化工艺提高其介温变化率最大可达6%.通过半导体光刻工艺,刻蚀出BST探测单元,较好的解决了UFPA技术中的探测单元制备问题.设计了初级信号处理电路,并用Protel进行了电路模拟,所得信号可以应用于进一步的信号处理.
关键词:
sol-gel
,
BaxSr1-xTiO3 薄膜
,
UFPA
,
介电常数
