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准液相外延大晶粒金属化薄膜

和志刚

材料研究学报

<正> 作为光伏器件或集成电路电极引线的金属化薄膜,应有较好的抗电迁移性能,以保持较低的接触电阻和较好的接触稳定性。提高抗电迁移性能的途径是使薄膜具有较大晶粒尺寸和较高取向度。这种薄膜衬底也有利于进一步生长大晶粒的光伏器件吸收材料。意大利Romeo等发展了一种新的薄膜淀积工艺——准液相外延法,即在低于但接近其熔点的金属层上生长单一取向大晶粒薄膜。这种方法对基片要求不高、工艺也较简单。

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