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银纳米颗粒表面覆盖度对非晶硅薄膜光吸收特性的影响

王晓宇 , 李华芳 , 石嵩 , 唐仕川 , 王金良

人工晶体学报

本文采用磁控溅射系统在非晶硅薄膜的表面沉积不同覆盖度的银纳米颗粒,并研究纳米颗粒的表面覆盖度对非晶硅薄膜光吸收特性的影响.结果表明随着纳米颗粒表面覆盖度的增加,薄膜的晶格结构并不受影响.但是,随着表面覆盖度的增加,薄膜在近红外区域内对光的吸收范围却发生了明显变化.当纳米颗粒的表面覆盖度达到8％时,薄...

关键词: 银纳米颗粒 , 表面覆盖度 , 光吸收特性 , 局域表面等离子体