唐心亮
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刘玉岭
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王辰伟
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牛新环
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高宝红
功能材料
Cu的双大马士革工艺加上化学机械平坦化（CMP）技术是目前制备Cu布线行之有效的方法。CuCMP制程中，抛光液起着至关重要的作用，针对目前国际主流酸性抛光液存在的问题和Cu及其氧化物与氢氧化物不溶于水的难题，研发了多羟多胺碱性Cu布线抛光液，研究了此抛光液随压力、转速及流量变化的特性，同时也研究了其...
关键词:
Cu布线化学机械平坦化
,
碱性
,
速率
,
高低差
韩明
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唐心亮
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吴朔媚
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王敬涛
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2017.02.004
针对传统均值漂移算法利用固定核或对称核函数进行目标跟踪时出现目标跟踪丢失或跟踪失败的问题,提出了基于各向异性核函数的自适应带宽均值漂移目标跟踪算法,以提高目标跟踪的准确性、实时性.在符号距离核函数的基础上引入符号距离约束函数,构成各向异性核函数,满足目标外部的区域函数值为零,为目标跟踪提供准确的跟踪...
关键词:
图像处理
,
各向异性核函数
,
水平集
,
均值漂移
,
目标跟踪
,
自适应带宽
