杜姗
,
黄美东
,
刘春伟
,
唐晓红
,
吕长东
表面技术
采用射频反应磁控溅射方法制备氧化钒(VOx)薄膜,对样品的沉积速率、物相结构、表面形貌和可见光波段的透过率进行表征,研究了在沉积气压一定的情况下,氧氩流量比对氧化钒薄膜结构和光学性能的影响.结果表明,改变氧氩流量比可明显改变薄膜结构,随着氧气比例的增加,沉积速率下降,薄膜表面出现了颗粒结构,颗粒尺寸...
关键词:
氧化钒薄膜
,
氧气流量
,
氩气流量
,
反应磁控溅射
张继成
,
吴卫东
,
许华
,
唐晓红
材料导报
主要简介了磁控溅射技术的基本原理、基本装置、近年来出现的新技术(多靶磁控溅射技术、磁场扫描法、非平衡磁控溅射、脉冲磁控溅射技术、磁控溅射技术与其它成膜技术相结合等),以及国内外利用磁控溅射技术在多层膜和化合物薄膜制备方面取得的一些成果.
关键词:
磁控溅射
,
磁控溅射新技术
,
薄膜制备
唐晓红
,
吴崇珍
,
韩春亮
硅酸盐通报
用SO2-4物质的量相同的H2SO4和Al2(SO4)3分别对Al-MCM-41进行改性,得到样品SO2-4-/Al-MCM-41和Al/SO2-4/Al-MCM-41.采用X射线多晶衍射(XRD)、红外光谱(FTIR)、N2吸附-脱附和NH3程序升温脱附(NH3 -TPD)等测试技术对样品进行表征...
关键词:
硫酸
,
硫酸铝
,
改性
,
中孔分子筛
唐晓红
,
雷万学
,
郭益群
硅酸盐通报
在敞开体系中,以工业用水玻璃为硅源,TiCl3为钛源,十六烷基三甲基溴化铵(CTMAB)为模板剂,用H2SO4调节浆料的pH值,浆料混合物的物质的量比为n(SiO2):n(Na2O):n(CTMAB):n(TiCl3):n(H2O)=7:2.08:1.4:0.14:530时,373 K搅拌晶化一定时...
关键词:
敞开体系
,
中孔分子筛
,
催化氧化
,
晶化时间
