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蓝宝石上GaN基多层膜结构椭偏研究

杜江锋 , 赵金霞 , 罗谦 , 于奇 , 夏建新 , 杨谟华

功能材料

对InN/GaN/Al2O3和Ga2O3/GaN/Al2O3多层膜结构进行了椭圆偏振光谱研究.所有GaN样品均采用MOCVD工艺在蓝宝石(Al2O3)衬底上生长所得.应用多层介质膜模型,在300～800nm测试波长范围内拟合得到了样品各层厚度和折射率色散关系,并与GaN单层膜色散关系相比较,分析了各...

关键词: GaN , 椭圆偏振光谱 , InN , Ga2O3