余金中
,
严清峰
,
夏金松
,
王小龙
,
王启明
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2003.01.001
SOI (Silicon- on- Insulator) 光电子集成已成为十分引人注目的研究课题,其工艺与 CMOS 工艺完全兼容,可以实现低成本的 SOI基整片集成光电子回路.本文综述了近几年来 SOI集成光 电子器件的发展以及一些最新的研究进展 , 着重分析几种最新型光无源器件的工作原理和结构,...
关键词:
SOI
,
光电子集成电路
,
光波导
,
SOI光波导开关
,
阵列波导光栅
,
SOI基光探测器
