姚舜晖
,
林静波
,
江仲德
,
高文显
,
苏演良
,
刘醇鸿
,
刘伟彬
材料开发与应用
doi:10.3969/j.issn.1003-1545.2005.02.007
许多年来,氮化钛镀膜的使用相当普遍.在周期表中与钛属于同一周期的另一过渡元素锆,亦是一引人注目的材料.已有许多关于氮化锆的研究,然而,对碳氮化锆的了解仍然有限.本研究使用非平衡磁控溅镀系统制备了ZrCN镀膜,探讨了C2H2/N2 反应气体流量比例、以及添加Ti、W等对ZrCN硬度和磨耗性能的影响.结果显示,在总反应气体流量固定不变状态下,ZrCN硬度及磨润性能随反应气体流量比例降低而增加;添加Ti和W会显著增加ZrCN的硬度和磨耗性能,添加Ti的效果比添加W的佳.不论有无添加物,ZrCN的磨耗性能皆明显比TiN的佳.
关键词:
碳氮化锆
,
膜
,
磨耗
姚舜晖
,
苏演良
,
高文显
,
郑凯文
材料科学与工艺
为了了解氮化银铬和氮化钨铬纳米复合薄膜涂层应用于微型钻头加工的潜能,采多靶材非平衡磁控溅射方式制备薄膜,分别将钨(W)和银(Ag)掺杂于氮化铬(CrN)中,形成氮化钨铬(Cr-W-N)和氮化银铬(Cr-Ag-N)纳米复合薄膜,研究其基本特性及涂层于微型钻头表面加工电路板性能.结果表明,虽掺杂Ag导致硬度降低,仍可改善微型钻头加工性能;掺杂W形成W_2N化合物混杂于CrN中,因而整体涂层硬度增加,同时大幅提升微型钻头加工性能.经由本研究,确认氮化银铬和氮化钨铬纳米复合薄膜具备改善微型钻头加工电路板的能力.
关键词:
无机陶瓷材料
,
纳米复合薄膜
,
磁控溅射
,
高速微钻削
,
氮化银铬
,
氮化钨铬
