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透射模式电子背散射衍射技术在纳米材料研究中的应用

刘紫微 , 华佳捷 , 林初城 , 姜彩芬 , 曾毅

无机材料学报 doi:10.15541/jim20140065

为了提高电子背散射衍射技术的空间分辨率,使之能够对纳米尺度的晶粒或超细粉末进行相鉴定和取向分析,本研究通过自主设计的透射模式电子背散射衍射技术的样品台,及调整EBSD探头位置及角度,收集到清晰、完整的透射电子菊池衍射花样。研究了减薄块体样品厚度对透射电子菊池衍射花样的影响,对减薄氧化锆涂层样品进行了...

关键词: 透射模式电子背散射衍射 , 高分辨率 , 相鉴定 , 纳米材料