王新
,
向嵘
,
任新光
,
李野
,
姜德龙
,
端木庆铎
液晶与显示
doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2009.03.012
对采用磁控溅射方法生长在玻璃和柔性聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)塑料上的氧化铟锡(ITO)薄膜的结构、光学和电学特性进行了对比研究.在两种不同的衬底上均得到了不分相的、高质量的多晶ITO薄膜,其中生长在玻璃衬底上的ITO薄膜(002)衍射峰的半峰宽为0.24°,生长在PET衬底上的为0.28°.两种...
关键词:
氧化铟锡
,
磁控溅射
,
X射线衍射
,
透光率
,
电阻率
