张志远
,
甘再国
,
马龙
,
杨华彬
,
王建国
,
郁琳
,
姜舰
,
田玉林
,
丁兵
,
郭松
,
王永生
,
黄天衡
,
孙明道
,
王凯龙
原子核物理评论
doi:10.11804/NuclPhysRev.33.02.217
关键词:
滕冉
,
常青
,
吴志强
,
汪丽都
,
戴小林
,
肖清华
,
姜舰
,
张果虎
,
周旗钢
人工晶体学报
采用有限元法计算了300 mm硅单晶生长过程中,热屏结构对炉体内温度分布、熔体中流场以及晶体内热应力的影响.计算所用的模型涵盖了晶体生长过程中的主要物理现象,包括结晶潜热的释放、结晶前沿的形变、熔体中热和质的传输以及氧的输运等.计算结果表明使用直壁式热屏时,晶体-熔体界面变得更加平坦同时结晶前沿处的...
关键词:
单晶硅
,
有限元法
,
热屏
姜舰
,
邓树军
,
戴小林
,
吴志强
,
朱秦发
,
刘冰
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2010.06.028
随着国内硅材料应用技术不断发展,在大直径单晶的直径生长控制方面除了在设备上采用更加先进的双CCD系统,同时也对单晶生长的直径PID提出了更加严格的要求,因此研究单晶生长的直径PID参数设置有着重要意义.以等径阶段PID参数设置为研究对象,采用晶体生长的实验方法研究了不同PID参数控制对晶体生长的影响...
关键词:
大直径
,
直拉
,
单晶直径
,
PID参数
