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二氧化铪(HfO2)功能陶瓷薄膜的自组装制备

贺中亮 , 苗鸿雁 , 谈国强 , 刘剑 , 夏傲 , 娄晶晶

功能材料

利用自组装单层膜技术,在玻璃基板上生长十八烷基三氯硅烷(OTS)单分子膜层,以Hf(SO4)2·4H2O和HCl配制HfO2前驱液,通过液相沉积在硅烷的功能性官能团上诱导生成二氧化铪薄膜.研究了紫外光照射对OTS单分子层的影响,通过接触角测试仪、AFM、SEM及XRD等手段对膜材料的表面形貌和结构进行了研究分析.结果表明,利用自组装单层法成功制备出HfO2晶态薄膜,呈立方型的HfO2,无其它杂相,薄膜表面均一.

关键词: 薄膜 , 自组装单层膜 , HfO2

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