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TiN/Si3N4纳米多层膜硬度对Si3N4层厚敏感性的研究

赵文济 , 孔明 , 乌晓燕 , 李戈扬

金属学报

通过反应磁控溅射制备了一系列不同Si3N4层厚的TiN/Si3N4纳米多层膜,利用X射线衍射仪、高分辨透射电子显微镜、扫描电子显微镜和微力学探针表征了多层膜的微结构和力学性能,研究了其力学性能随Si3N4层厚微小改变而显著变化的原因。结果表明,在TiN调制层晶体结构的模板作用下,溅射态以非晶存在的Si3N4层在其厚度小于0.7 nm时被强制晶化为NaCl结构的赝晶体,多层膜形成共格外延生长的(111)择优取向超晶格柱状晶,并相应产生硬度显著升高的超硬效应,最高硬度达到38.5 GPa。Si3N4随自身层厚进一步的微小增加便转变为非晶态,多层膜的共格生长结构因而受到破坏,其硬度也随之降低。

关键词: TiN/Si3N4纳米多层膜 , epitaxial growth , crystallization , superhard effect

SiC颗粒尺寸对镍基复合镀层耐磨性和耐蚀性的影响

吴俊升 , 李晓刚 , 孔明 , 董超芳

中国有色金属学报

在正交实验基础上,对比研究微米SiC(平均粒径1.5 μm)和纳米SiC(平均粒径20 nm)增强复合镍基镀层的摩擦磨损行为和耐腐蚀性能.通过TEM、SEM、EDX和XRD等手段研究颗粒分散状态以及复合镀层的表面和截面形貌、成分及相结构.采用球-盘滑动摩擦磨损试验机研究复合镀层的耐磨性.电化学阻抗谱测量在3.5%的NaCl水溶液中进行.结果表明:微米级颗粒增强复合镀层可以获得更高的表面硬度,两种增强复合镀层具有相似的摩擦磨损行为.电化学阻抗谱分析表明:SiC颗粒的加入可以提高镀层的耐腐蚀性,且纳米颗粒复合镀层具有更好的耐蚀性.

关键词: 复合镀层 , , SiC颗粒 , 耐磨耐蚀性能

乙酰化壳聚糖微球作为潜在动脉栓塞剂的研究

周旋 , 孔明 , 刘卫芳 , 冯超 , 程晓杰 , 陈西广

功能材料

利用优化后的乳化交联法制备的壳聚糖微球(CMs)及其乙酰化微球(ACMs)表面光滑、球形完整、粒径均匀。微球溶胀率试验、体外降解试验和细胞毒性试验显示,ACMs多种特性较CM更优。采用ACMs对兔耳栓塞15d后,栓塞部位小动脉萎缩消失,周围组织坏死,部分发生脱落,与坏死组织交界的边缘表皮萎缩增厚。结果表明,ACMs可以作为潜在的动脉栓塞剂。

关键词: 壳聚糖 , 微球 , 乙酰化 , 栓塞

反应溅射Ti-Al-Si-N纳米晶复合薄膜的微结构与力学性能

董云杉 , 孔明 , 胡晓萍 , 李戈扬 , 顾明元

功能材料

采用Ar、N2和SiH4混合气体反应溅射制备了一系列不同Si含量的Ti-Al-Si-N薄膜,并采用EDS、AES、XRD、TEM和微力学探针研究了薄膜的微结构和力学性能.结果表明通过控制混合气体中SiH4分压可以方便地获得不同Si含量的Ti-Al-Si-N纳米晶复合薄膜.当Si含量达到3.5%(原子分数)时,薄膜中出现TiSix界面相,造成(Ti,Al)N晶粒细化,使薄膜力学性能得到提高,硬度和弹性模量的最高值分别为36.0GPa和400GPa.进一步提高Si含量,薄膜的力学性能逐渐降低.

关键词: 反应溅射 , 纳米晶复合薄膜 , 微结构 , 力学性能

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