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Si衬底上Mg0.3Zn0.7O薄膜结构及光学性能

刘全生 , 张希艳 , 柏朝晖 , 王能利 , 王晓春 , 米晓云 , 卢利平 , 孔智艳

硅酸盐通报

采用溶胶-凝胶旋涂法在Si衬底上制备了Mg0.3Zn0.7 O薄膜,采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、紫外-可见荧光光谱仪和紫外-可见分光光度仪测试了Mg0.3Zn0.7O薄膜的结构和光学性能.结果表明:Si衬底上Mg0.3.Zn0.7O薄膜以六方相ZnO纤锌矿为主,存在少部分立方相MgO,薄膜均匀...

关键词: Mg0.3Zn0.7O薄膜 , 溶胶凝胶法 , 硅衬底 , 紫外发光