潘国峰
,
何平
,
张广喜
,
孙以材
,
高金雍
材料导报
根据近年来光催化技术的研究成果,从3个方面综述了纳米TiO2薄膜光触媒薄膜的研究进展:制备工艺、影响TiO2薄膜光催化活性的因素和改善其光催化效率的方法.最后,对目前TiO2光触媒研究中存在的主要问题和发展前景进行了简要评述和展望.
关键词:
TiO2薄膜
,
光催化反应
,
光触媒
刘新福
,
刘东升
,
孙以材
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2004.03.042
概述了微区电阻测试方法及其均匀性表征方法的应用,利用自主研制的斜置式方形四探针微区薄层电阻测试仪,对P型硅芯片进行了无图形Rymaszewski法测试,在3寸芯片上测试了598个366 μm×366 μm 方形微区的薄层电阻,并用等值线图表示了其分布,得到了薄层电阻的不均匀度及平均值,这种微区薄层电...
关键词:
Rymaszewski法
,
等值线图
,
薄层电阻
