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金刚石的射频喷射等离子体化学气相沉积及其Ni-N掺杂的研究

石彦超 , 李彬 , 李佳君 , 左勇刚 , 白旸 , 刘浩 , 孙占峰 , 马殿理 , 陈广超

人工晶体学报

对自行设计的RF喷射等离子体增强化学气相沉积系统(RF plasma jet CVD)进行了电子温度和电子密度的模拟计算分析.在优化的参数下进行了金刚石膜体的制备,并应用光发射谱技术(OES)在线分析了等离子体的成分.通过Raman、XRD和SEM分析了沉积样品的成分、晶体结构和形貌.通过在反应气体中加入NH3,并利用载气技术将含有Ni元素的金属有机物引入到沉积区,进行了Ni、N共掺杂沉积.利用XPS以及PL谱分析了掺杂样品的化学价键和光致发光特性,结果发现Ni-N价键的存在以及在800 nm附近的光发射峰.

关键词: 化学气相沉积 , 射频喷射等离子体 , 金刚石 , Ni-N掺杂

AD95陶瓷的高压声速研究

孙占峰 , 徐辉 , 彭建祥

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2012.02.001

采用VISAR技术连续测量样品-窗口界面粒子速率削面方法,对AD95陶瓷在卸载过程中的高压声速和卸载路径进行了研究.结果表明,加载应力为25.86~57.42GPa时,AD95陶瓷卸载过程中的高压声速降低过程与延性金属材料具有明显区别:卸载过程受加载过程中的双波结构影响,明显分成弹性前驱波卸载和冲击波卸载两个阶段,但第一阶段所占的比例随加载应力的增加逐渐减小;第二阶段中不存在明显的弹性卸载和塑性卸载的拐点.研究结果将为陶瓷材料动态响应和压缩损伤研究奠定基础.

关键词: 陶瓷 , 高压 , 声速

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