张际亮
,
孙学鹏
,
郦剑
,
沃银花
材料热处理学报
doi:10.3969/j.issn.1009-6264.2007.z1.067
采用常压化学气相沉积(APCVD)技术在铝基底上成功制备了改性SiOx陶瓷薄膜.通过显微硬度测试与涂层附着力自动划痕测试定量研究了薄膜显微硬度和膜基结合强度,利用光学显微镜(OM)和扫描电子显微镜(SEM)观察了薄膜的原始表面以及压痕、划痕形貌.结果表明,SiOx膜层由大小不均匀的等轴状颗粒团聚堆垛...
关键词:
SiOx薄膜
,
Al合金
,
化学气相沉积
,
显微硬度
,
结合强度
,
表面形貌