于旭东
,
孙广年
,
张会选
,
吕进
,
王进学
,
孙亮
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2006.01.046
采用单晶提拉炉成功生长出φ200mm ×180mm大尺寸Al2O3晶体.探讨了晶体生长工艺参数和晶体开裂之间的关系,并讨论了晶体中的热应力、热应变、温度梯度、提拉速度之间的关系,分析了影响晶体质量主要是晶体开裂的原因,设计出生长大尺寸Al2O3晶体的最佳工艺条件.
关键词:
大直径Al2O3晶体
,
温度梯度
,
晶体开裂
于旭东
,
孙广年
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2006.02.051
本实验采用提拉法,在中频感应加热单晶炉内,进行了不同生长方向蓝宝石晶体的生长工作,分别取[11-20]和[0001]生长的晶体c面(0001)的晶片.通过应力仪、显微观测和X射线衍射等方式对晶片的位错密度等微观缺陷以及晶体结构进行了检测.实验表明:不同的生长方向生长得到的蓝宝石晶体的质量存在一定的差别,一般情况下,[11-20]方向生长的蓝宝石晶体质量优于[0001]方向生长的晶体.
关键词:
提拉法
,
生长方向
,
位错密度
,
衍射
,
晶体结构
