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热处理对WO3薄膜光学性质的影响

杨晓红 , 孙彩琴 , 闫勇彦

功能材料

直流反应磁控溅射法制备了WO3薄膜,薄膜在723K纯N2气中被退火处理.热处理前WO3薄膜为无定形态,热处理后为多晶态.采用透射谱和单谐振子模型获得了薄膜的折射率和消光系数,得到退火前后谐振子能量分别为5.77和5.28eV,色散能为19.9和15.9eV.分析表明退火前后吸收边附近均表现出间接带隙...

关键词: 三氧化钨薄膜 , 退火 , 光学常数 , 间接带隙