孙林林
,
刘宏玉
,
程文娟
,
马学鸣
,
石旺舟
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.06.031
采用脉冲激光沉积(PLD)方法在Si(100)上成功生长了高度c轴取向的AlN薄膜,并以此为衬底,实现了ZnO薄膜的低温准外延生长.通过X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)以及荧光分光光度计表征ZnO薄膜的结构、表面形貌和发光性能.结果表明,ZnO薄膜能在AlN过渡层上沿c轴准外延生长,采用AlN过渡层后,其荧光强度也有大幅提高.
关键词:
氧化锌薄膜
,
外延生长
,
过渡层
,
光致发光
