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衬底温度对共蒸法制备CIGS薄膜结构和形貌的影响

杨伟锋 , 孙永健 , 郭射宇

材料科学与工程学报

采用一步共蒸法制备铜铟镓硒(CIGS)薄膜,研究讨论不同衬底温度条件对制得薄膜结构和形貌的影响.薄膜的结构和形貌分别利用X射线衍射(XRD)与扫描电子显微镜(SEM)进行检测.结果表明,衬底温度对CIGS薄膜的生长有很大的影响,当温度为250℃时,开始有CIGS晶相生成;随着温度的升高晶体颗粒逐渐增...

关键词: CIGS , 一步法 , 薄膜太阳电池 , 衬底温度