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硅粉常压直接氮化制备氮化硅粉的研究

尹少武 , 王立 , 刘传平 , 童莉葛 , 孙淑凤

硅酸盐通报

以平均粒径为2.8μm的硅粉为原料,添加氮化硅粉作为稀释剂,对常压氮气下直接氮化制备Si3N4粉的工艺进行了研究,借助于氮氧测定仪、XRD、SEM等检测方法,分析了硅粉常压直接氮化制备Si3N4粉过程中稀释剂种类、稀释剂添加比例、氮化温度、氮化时间等因素对硅的氮化过程的影响.研究结果表明:硅粉在流动...

关键词: 氮化硅 , 直接氮化 , 常压氮化 , 制备