刘柱方
,
蒋利民
,
汤儆
,
刘品宽
,
孙立宁
,
田中群
,
田昭武
应用化学
doi:10.3969/j.issn.1000-0518.2004.03.003
运用约束刻蚀剂层技术(CELT)在金属铜(Cu)表面实现了三维微图形加工，取得成功的关键因素在于寻找到能对Cu进行有效CELT加工的化学刻蚀和捕捉体系。 采用规整的三维齿状结构为模板,在Cu表面得到了与齿状结构模板互补的三维微结构。 采用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对所刻蚀图案进行表征，证实CELT可用于金属表面三维微图形的刻蚀加工。
关键词:
约束刻蚀剂层技术(CELT)
,
金属铜
,
三维微加工
,
化学刻蚀
韩聪
,
孙立宁
,
刘钢
,
苑世剑
材料科学与工艺
针对弯曲轴线矩形截面件内高压成形时容易发生开裂的问题,以轿车底盘前梁为例,采用数值模拟和试验的方法分别研究了0.98α、1.0α和1.02α(α为内高压件的轴线中心角)3种弯曲角度对弯曲轴线矩形截面件内高压成形开裂缺陷的影响.结果表明,采用0.98α和1.02α弯曲角度时,内高压成形时在弯角外侧和矩形截面过渡区叠加区域出现开裂缺陷,而采用1.0α的弯曲角度时,能够顺利成形出合格的内高压件.由此可知,对于弯曲轴线矩形截面件,弯曲工序引起的壁厚减薄及轴线偏移是导致内高压开裂的主要原因,通过合理的弯曲角度可以有效控制内高压成形截面环向变形的均匀性,避免开裂的产生.
关键词:
内高压成形
,
液压成形
,
底盘前梁
,
结构件
陈立国
,
杨治亮
,
马凌宇
,
孙立宁
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.006
引线键合是MEMS传感器最常用的封装形式之一,传统IC引线键合设备的批量制造特点限制了MEMS制造的灵活性.本文将连续变倍显微镜作为视觉传感器建立柔性显微视觉系统,并与改造后的手动引线键合机相结合,建立了面向MEMS的自动引线键合系统.通过分析变倍显微镜的成像模型提出了一种适用于变倍显微镜的自动调焦方法,以获取不同倍数下的清晰图像.利用变倍显微镜可以连续变倍的特点,在低放大倍数下进行大范围粗定位,高放大倍数下进行精定位,从而实现大范围高精度定位.最后通过实验验证了该系统的实用性.
关键词:
MEMS
,
引线键合
,
显微视觉
徐德洋
,
王蓬勃
,
孙立宁
材料导报
doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2014.19.021
钢笔纳米刻蚀技术(Fountain pen nanolithography,FPN)是近年来发展起来的一种新型的基于原子力显微镜(Atomic force microscope,AFM)的扫描探针刻蚀技术,具有加工结构精度高、加工过程操作性强、对加工环境要求低、持续书写等优点.FPN刻蚀过程主要受探针的孔径大小、空气湿度、接触时间、书写速度、墨水的特性等因素影响.在介绍FPN相关原理及影响因素的基础上,综合介绍了包括电化学FPN技术(Electrochemical FPN,EcFPN)和主动控制技术FPN(Active FPN,AFPN)在内的FPN相关技术研究的最新成果及其在生物领域、微电子领域和光学器件方面的相关应用.
关键词:
钢笔纳米刻蚀技术
,
原子力显微镜
,
电化学FPN技术
刘亚欣
,
陈立国
,
孙立宁
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.001
近年来,用于生物,制药等领域的微量试剂自动化分配技术不断发展,往往需要进行微量快速的液体流量检测.本文设计了一种基于压差原理,通过测量液体流过精密微流量通道产生的压差实现流速快速测量的集成高速微流量传感器,并用MEMS技术进行本体结构和微流体通道的制作.通过理论计算以及传感器静态和动态建模分析,指出了结构尺寸设计原则,为结构设计提供理论依据,保证了传感器微量快速检测性能的实现.最后通过有限元分析软件对流量传感器结构尺寸进行受力和变形分析,并利用集总建模分析方法,对传感器进行动态特性分析.分析表明传感器在最大系统压力下变形和应力符合要求,响应速度可以达到1KHz以上,具有响应时间短,结构紧凑,功耗小的特点,特别适合于高通量自动化微量试剂操作系统中微流量的快速测量.
关键词:
流量传感器
,
微机械系统
,
传感器建模
