材料期刊网，材料期刊，材料类期刊，材料期刊投稿

金属铜表面的三维齿状图形的化学微加工

应用化学 doi:10.3969/j.issn.1000-0518.2004.03.003

运用约束刻蚀剂层技术(CELT)在金属铜(Cu)表面实现了三维微图形加工，取得成功的关键因素在于寻找到能对Cu进行有效CELT加工的化学刻蚀和捕捉体系。采用规整的三维齿状结构为模板,在Cu表面得到了与齿状结构模板互补的三维微结构。采用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对所刻蚀图案进...

关键词: 约束刻蚀剂层技术(CELT) , 金属铜 , 三维微加工 , 化学刻蚀

弯曲角度对弯曲轴线件内高压成形的影响分析

韩聪 , 孙立宁 , 刘钢 , 苑世剑

材料科学与工艺

针对弯曲轴线矩形截面件内高压成形时容易发生开裂的问题,以轿车底盘前梁为例,采用数值模拟和试验的方法分别研究了0.98α、1.0α和1.02α(α为内高压件的轴线中心角)3种弯曲角度对弯曲轴线矩形截面件内高压成形开裂缺陷的影响.结果表明,采用0.98α和1.02α弯曲角度时,内高压成形时在弯角外侧和矩...

关键词: 内高压成形 , 液压成形 , 底盘前梁 , 结构件

MEMS器件自动引线键合系统

陈立国 , 杨治亮 , 马凌宇 , 孙立宁

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.006

引线键合是MEMS传感器最常用的封装形式之一,传统IC引线键合设备的批量制造特点限制了MEMS制造的灵活性.本文将连续变倍显微镜作为视觉传感器建立柔性显微视觉系统,并与改造后的手动引线键合机相结合,建立了面向MEMS的自动引线键合系统.通过分析变倍显微镜的成像模型提出了一种适用于变倍显微镜的自动调焦...

关键词: MEMS , 引线键合 , 显微视觉

FPN的影响因素分析及相关应用

徐德洋 , 王蓬勃 , 孙立宁

材料导报 doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2014.19.021

钢笔纳米刻蚀技术(Fountain pen nanolithography,FPN)是近年来发展起来的一种新型的基于原子力显微镜(Atomic force microscope,AFM)的扫描探针刻蚀技术,具有加工结构精度高、加工过程操作性强、对加工环境要求低、持续书写等优点.FPN刻蚀过程主要受探...

关键词: 钢笔纳米刻蚀技术 , 原子力显微镜 , 电化学FPN技术

一种MEMS微流量传感器的设计与分析

刘亚欣 , 陈立国 , 孙立宁

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.001

近年来,用于生物,制药等领域的微量试剂自动化分配技术不断发展,往往需要进行微量快速的液体流量检测.本文设计了一种基于压差原理,通过测量液体流过精密微流量通道产生的压差实现流速快速测量的集成高速微流量传感器,并用MEMS技术进行本体结构和微流体通道的制作.通过理论计算以及传感器静态和动态建模分析,指出...

关键词: 流量传感器 , 微机械系统 , 传感器建模

材料期刊网

金属铜表面的三维齿状图形的化学微加工

弯曲角度对弯曲轴线件内高压成形的影响分析

MEMS器件自动引线键合系统

FPN的影响因素分析及相关应用

一种MEMS微流量传感器的设计与分析

出版年份

刊物分类

相关作者

相关热词