孙金池
,
刘正堂
,
张兴刚
,
崔虎
,
李阳平
功能材料
采用射频磁控溅射法在高阻Cd0.9Zn0.1Te上制备了Cu/Ag导电薄膜,通过测量I-V曲线来评价接触性能.讨论了溅射功率和衬底温度对接触性能的影响,结果表明在两种不同功率下制备的薄膜不经过热处理已具有良好的欧姆接触性能,随着衬底温度的升高欧姆接触性能有所下降.通过对衬底的表面处理降低了表面漏电流...
关键词:
Cu/Ag导电薄膜
,
Cd0.9Zn0.1Te晶体
,
接触
,
磁控溅射
陈继权
,
孙金池
,
李阳平
,
刘正堂
功能材料
高阻CdZnTe晶体是X射线及γ射线探测最优秀的材料.制备CdZnTe探测器最关键的技术之一就是在CdZnTe表面制备出欧姆接触薄膜电极.关于在CdZnTe晶体表面制备接触电极用导电薄膜,大都是采用蒸发镀膜技术,膜层与CdZnTe晶体结合不很牢固.本论文主要开展了在CdZnTe晶体上欧姆接触电极的选...
关键词:
碲锌镉
,
欧姆接触
,
薄膜
,
磁控溅射
