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频率-电流扫描3ω法表征纳米薄膜界面热阻

王照亮 , 孙铭蔓 , 姚贵策 , 梁金国

工程热物理学报

纳米薄膜与基体之间的界面热输运是MEMS系统热管理和热设计的热点和难点.建立了频率扫描3ω法的热阻抗网络模型.利用频率-电流扫描3ω法和不同厚度薄膜试样得到单层纳米薄膜与基体之间的界面热阻.ZrO2、SiO2增透膜与基体之间的界面热阻分别为0.108 m2·K·MW-1和0.066 m2·K·MW-...

关键词: 纳米薄膜 , 界面热阻 , 频率扫描3ω法 , 电流扫描3ω法 , 声子近界面效应