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铁电薄膜的材料系统与功能性质

孙顺明

硅酸盐通报 doi:10.3969/j.issn.1001-1625.1999.04.015

集成铁电体把铁电材料与集成半导体技术联合起来,以发展出一批新的电子器件.铁电薄膜在其中发挥着非挥发性记忆、热释电、压电、光折变、抗辐射、声学的和/或介电的功能性质.在不同的器件应用中,铁电薄膜的材料体系是不相同的.在非挥发性存贮器(NVRAM)中,PZT薄膜面临着SrBi2Ta2O9(SBT)系列铁...

关键词: 集成铁电体 , 铁电薄膜 , 铁电材料 , 功能性质 , 薄膜电极