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单相VO2薄膜的制备及显微组织分析

乔威 , 李智东 , 赵昆渝 , 李林德 , 孟召标

钢铁钒钛 doi:10.3969/j.issn.1004-7638.2007.02.011

以V2O4粉末为原料,采用无机溶胶-凝胶法在玻璃衬底上制备了V2O5干凝胶膜.通过两种退火工艺成功制备出了单相VO2薄膜,并对其物相和显微组织进行了分析.

关键词: VO2 , 薄膜 , V2O4 , 无机溶胶-凝胶法