李建国
,
刘实
,
李依依
,
胡东平
,
季锡林
,
梅军
,
周德惠
金属学报
根据热丝化学气相沉积(HFCVD)金刚石薄膜的几何特点和工艺参数, 建立了该系统的二维温度场、速度场和密度场的耦合模型。利用该模型对沉积大面积金刚石薄膜的空间场进行了模拟计算, 研究了沉积参数对空间场的影响。结果表明, 衬底处的温度分布和质量流密度的计算值与实测值相吻合。只有气体进口速度对质量流密度...
关键词:
热丝化学气相沉积
,
coupled model
,
spacial field
李建国
,
刘实
,
李依依
,
胡东平
,
季锡林
,
梅军
,
周德惠
金属学报
doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2005.04.020
根据热丝化学气相沉积(HFCVD)金刚石薄膜的几何特点和工艺参数,建立了该系统的二维温度场、速度场和密度场的耦合模型.利用该模型对沉积大面积金刚石薄膜的空间场进行了模拟计算,研究了沉积参数对空间场的影响.结果表明,衬底处的温度分布和质量流密度的计算值与实测值相吻合.只有气体进口速度对质量流密度的均匀...
关键词:
热丝化学气相沉积
,
耦合模型
,
空间场
,
模拟计算
王兵
,
梅军
,
李力
,
季锡林
,
冉均国
,
苟立
材料科学与工艺
doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2003.01.007
为了解决化学气相沉积金刚石膜产业化进程中存在的生长速率慢、沉积尺寸小的难题,自行研制了适宜于大尺寸金刚石膜高速生长的电子辅助热灯丝式化学气相沉积(EAHFCVD)装置,通过反应气体中加氧将碳源浓度提高到10%以上,并优化反应压力与直流偏流密度二参数间的匹配,研究了该装置的生产特性,同时利用SEM、X...
关键词:
热灯丝
,
CVD金刚石
,
大尺寸
,
高速生长
胡东平
,
季锡林
,
姜蜀宁
,
薛屺
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2004.02.008
TiC涂层由于具备良好的性能而广泛地应用于机械加工行业.以高温CVD方法制备TiC涂层技术为基础,研究了在反应腔中设置温度达到1600℃的高温处理装置,使原料气经过高温处理装置后在基体上沉积出TiC涂层.经金相显微镜测量厚度约为10μm,经XRD检测成分为:界面出现脱碳相Co 6W 6C,膜层除含有...
关键词:
TiC
,
纳米
,
涂层
,
化学气相沉积
