李新领
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周志男
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孙维连
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孙铂
,
王会强
,
安广
表面技术
采用中频孪生靶磁控溅射技术,在不锈钢和铝基体上沉积出ZrN/Zr薄膜,表征了薄膜的厚度、色度及表面形貌,研究了氮气流量对ZrN/Zr薄膜的沉积速率和色度的影响.结果表明:随着氮气流量的增加,薄膜的沉积速率先降低,后升高,氮气流量在2.5×10-10～3.5×10-10 m3/s范围内时对薄膜的沉积速...
关键词:
氮气流量
,
ZrN/Zr薄膜
,
色度
,
沉积速率
,
中频孪生靶
孙维连
,
安广
,
孙铂
,
王会强
,
李新领
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2012.02.013
采用中频非平衡磁控溅射技术在镜面不锈钢板上制备了ZrN薄膜,通过改变镀膜时间控制ZrN薄膜的厚度.用色差仪测定了不同厚度ZrN薄膜的L*,a*和b*值,绘制出不同厚度ZrN薄膜的L*,a*和b*值的变化曲线图,得出膜层厚度对薄膜色度的影响规律:膜层厚度低于63.7 nm时,随着膜层厚度的增加,L*和...
关键词:
沉积速率
,
膜层厚度
,
ZrN薄膜
,
色度
