李鹏廷
,
王凯
,
姜大川
,
任世强
,
谭毅
,
安广野
,
张磊
,
郭校亮
,
王峰
无机材料学报
doi:10.15541/jim20160324
以工业硅为原料,利用介质熔炼、定向凝固和电子束熔炼三种熔体处理技术对工业硅中的B、P和金属杂质进行了去除,制备出了99.9999%级多晶硅材料,其中,杂质B和P的含量分别低于0.20 ppmw(parts per million(weight),百万分之一质量),金属杂质总含量(TM)低于0.23 ...
关键词:
工业硅
,
介质熔炼
,
定向凝固
,
电子束熔炼