宋世巍
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秦福文
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吴爱民
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何欢
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王叶安
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姜辛
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徐茵
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顾彪
功能材料
利用电子回旋共振-等离子体增强金属有机物化学气相沉积(ECR-PEMOCVD)技术,在蓝宝石(α-Al2O3)衬底上生长出Mn含量约为3%的(Ga,Mn)稀磁半导体薄膜.利用反射高能衍射(RHEED)、原子力显微镜(AFM)和X射线衍射(XRD)表征(Ga,Mn)N薄膜的表面形貌和结构特征.(Ga,...
关键词:
(Ga,Mn)N
,
ECR-PEMOCVD
,
室温铁磁性
,
居里温度
杨智慧
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秦福文
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吴爱民
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宋世巍
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刘胜芳
,
陈伟绩
人工晶体学报
利用射频磁控溅射在普通玻璃上制备了(0002)择优取向的ZnO:Al薄膜.采用电子回旋共振-等离子体增强金属有机物化学气相沉积(ECR-PEMOCVD)技术,在ZnO:Al薄膜衬底上沉积了厚度为320 nm的GaN薄膜.利用高能电子衍射(RHEED)、X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和光...
关键词:
掺铝氧化锌衬底
,
GaN薄膜
,
低温生长
