汪洪
,
苏凤莲
,
周圣明
,
宋学平
,
刘艳美
,
李爱侠
,
尹平
,
孙兆奇
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2006.03.050
采用磁控溅射法在硅(111)衬底上制备了C轴高度取向的ZnO薄膜,并研究了退火温度和氧气气氛对ZnO薄膜晶体质量、晶粒度大小和光致发光谱的影响.X射线衍射表明,所有薄膜均为高度C轴择优取向,当退火温度低于900℃时,随着退火温度的升高,薄膜的取向性和结晶度都明显提高.室温下对ZnO薄膜进行了光谱分析...
关键词:
ZnO薄膜
,
磁控溅射
,
X射线衍射
,
光致发光
汪洪
,
苏凤莲
,
宋学平
,
刘艳美
,
李爱侠
,
周圣明
,
孙兆奇
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2006.02.022
用脉冲激光沉积法在Al2O3(0001)衬底上沉积了ZnO薄膜.衬底温度分别为300℃、400℃、500℃、600℃和700℃.利用X射线衍射(XRD)和光致发光谱(PL)对薄膜的结构和光学性能进行研究.X射线衍射的结果表明在不同温度下生长的ZnO薄膜均具有高度c轴择优取向,衬底温度400℃时,膜的...
关键词:
ZnO薄膜
,
脉冲激光沉积
,
X射线衍射
,
光致发光谱
郭占成
,
宋学平
,
赵月红
,
段东平
钢铁
进行煤—氧—水蒸气—焦炉气联合气化制备直接还原气或液态燃料合成气的工艺概念设计,并对其关键技术进行热态模拟的基础研究.结果表明,借用高炉炼铁系统可望实现煤—氧—水蒸气—焦炉气联合气化制备H2/CO可调、有效成分H2+CO大于95 %的富氢还原气或化工合成气,为解决直接还原炼铁以及液态燃料合成的原料气...
关键词:
还原气
,
合成气
,
焦炉气
,
煤气化
,
直接还原
汪洪
,
周圣明
,
宋学平
,
刘艳美
,
李爱侠
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.03.021
采用磁控溅射法在(111)单晶硅衬底上沉积了ZnO薄膜,并研究了退火温度对ZnO薄膜晶体质量、晶粒度大小、应力和光致发光谱的影响.X射线衍射(XRD)表明薄膜为高度c轴择优取向.不同退火温度下的ZnO薄膜应力有明显变化,应力分布最为均匀的退火温度为500℃.室温下对ZnO薄膜进行了光谱分析,可观测到...
关键词:
ZnO薄膜
,
磁控溅射
,
X射线衍射
,
应力
,
光致发光
