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FTO薄膜制备技术研究进展

郁建元 , 王立坤 , 王丽 , 宋玉嘉 , 赵洪力

人工晶体学报

本文首先对FTO薄膜的特性和应用进行简明陈述,之后对薄膜的制备方法,包括溶胶-凝胶法、磁控溅射法、化学气相沉积法和喷雾热解法等现有制备技术及研究进展进行了全面的综述,最后对FTO薄膜的制备技术改进及FTO理论设计研究前景进行了展望.

关键词: FTO薄膜 , 制备方法 , 进展