杜晓松
,
杨邦朝
,
滕林
,
宋远强
,
蒋亚东
功能材料
采用磁控溅射法制备锰铜薄膜,溅射和真空蒸发法制备镱薄膜.对热处理前后薄膜的电学性能、微观形貌和结构进行了表征,并采用轻气炮和对顶砧装置对薄膜传感器进行了压阻性能测试,结果表明热处理后薄膜的压阻系数有很大提高.SEM和XRD的分析表明,压阻系数的提高是由于热处理后薄膜晶粒长大、缺陷减少、电阻率下降所致.敏感薄膜的电阻率与传感器的灵敏度直接相关.热处理后,薄膜压阻计的灵敏度已接近箔式传感器的水平,热处理是提高薄膜压阻计灵敏度的有效手段.
关键词:
压阻系数
,
锰铜
,
镱
,
薄膜
,
微观结构
杜晓松
,
宋远强
,
杨邦朝
材料导报
分别从热力学过程、化学过程、工艺过程3个方面综述了MOD(金属有机物热分解)成膜方法,重点论述了MOD成膜的推动力和热处理工艺中薄膜结晶状态的改变.在此基础上对薄膜的性能进行了控制和优化.关注了MOD成膜法的最新进展,包括BT和PZT纳米线的制备、PT纳米点的制备,并对MOD与Sol-gel进行了系统性的比较.
关键词:
薄膜
,
MOD
,
前驱物
,
热分解
