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湿化学法合成Co掺杂ZnO薄膜的微结构及发光特性

王爱华 , 姬晓旭 , 吕林霞 , 卢成 , 包特木尔巴根 , 宋金瑶 , 张兵临

低温物理学报

采用湿化学法在ITO玻璃衬底上制备了纳米棒结构的Co掺杂ZnO薄膜．XRD结果表明Co掺杂的ZnO没有出现杂相．SEM结果表明掺杂样品是由ZnO纳米棒团簇结构组成，且团簇的密度随着co掺杂浓度的增大而增大．光致发光光谱表明CO掺杂导致薄膜的带隙发生红移．

关键词: Co掺杂ZnO薄膜 , 湿化学法 , 光致发光光谱