田林海
,
宗瑞磊
,
朱晓东
,
唐宾
,
何家文
机械工程材料
doi:10.3969/j.issn.1000-3738.2006.05.009
应用低能离子束辅助磁控溅射(IBAMS)沉积铬-铜-氮薄膜,研究了铜含量和轰击能量对薄膜结构、硬度和断裂韧度的影响.结果表明:在相同的轰击能量(400eV)下,铜含量对薄膜结构和硬度的影响不明显,但是铜的加入有利于提高薄膜的断裂韧度;离子辅助轰击能量从400 eV增加到800 eV时薄膜的结构发生了...
关键词:
离子束辅助磁控溅射
,
铬-铜-氮薄膜
,
硬度
,
断裂韧度
田林海
,
宗瑞磊
,
朱晓东
,
唐宾
,
何家文
中国有色金属学报
应用低能离子束辅助磁控溅射技术(IBAMS)沉积Cr-N薄膜,用场发射扫描电镜(FESEM)、原子力显微镜(AFM)和X射线衍射表征薄膜的组织结构,讨论了轰击能量对Cr-N薄膜组织、晶粒度以及硬度和断裂韧性的影响.结果表明:随离子束辅助轰击能量的升高,Cr-N薄膜由粗大的柱状晶变为细小的晶粒,当轰击...
关键词:
离子轰击
,
晶粒度
,
硬度
,
断裂韧性
唐长斌
,
刘道新
,
朱晓东
,
田林海
,
文胜平
,
宗瑞磊
中国有色金属学报
利用多功能离子束增强沉积(IBED)设备,在Ti6Al4V钛合金表面制备Cr和CrMo合金膜层,以提高钛合金表面的耐磨性能.利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、辉光放电光谱仪和显微硬度计分析和测试了IBED膜层的结构、形态、成分分布、硬度和膜基结合强度的大小.利用球-盘磨损试验机和电化学综合测试仪研究...
关键词:
钛合金
,
离子束增强沉积
,
Cr膜
,
CrMo合金膜
,
磨损
,
腐蚀
