宫华
,
刘开平
,
黄晖
,
汪敏强
硅酸盐通报
doi:10.3969/j.issn.1001-1625.2005.06.016
本研究以Zn和Se为源物质,NaOH水溶液为反应介质,采用水热法在125～200℃下反应24～36h制备了ZnSe粉体.采用XRD,XPS,EDAX和SEM等方法测试了所制备样品的相结构、表面元素状态、化学组成以及表面形貌,并研究了粉体的半导体光吸收特性.所制备的粉体为立方闪锌矿型ZnSe,粉体的粒径随水热反应温度的升高和水热反应时间的延长而增大.所制备的ZnSe粉体对紫外区的光呈现明显吸收,其光吸收最强峰位在波长468.8nm附近.
关键词:
水热法
,
ZnSe
,
Ⅱ-Ⅵ半导体
宫华
,
黄晖
,
汪敏强
,
姚熹
硅酸盐通报
doi:10.3969/j.issn.1001-1625.2004.03.013
热等离子体雾态气化制备薄膜技术(mist plasma evaporation, MPE)以液态源物质溶液为先体,采用超声雾化将先体溶液雾化为细小液滴,用载气将雾化液滴输运到射频感应热等离子体中,利用热等离子体的超高温,将液滴中的源物质彻底气化和分解为其组分粒子,通过气相输运,最终在基片上沉积薄膜.MPE制备薄膜技术采用单一先体溶液,源物质来源广泛,沉积速率快,不需后续热处理.本文介绍了MPE制备薄膜技术原理及工艺,综述了近年来在制备薄膜方面的研究进展.
关键词:
热等离子体雾态气化
,
热等离子体
,
超声雾化
,
MOCVD
