葛培林
,
刘小萍
,
尚魁平
,
冶艳
,
鲍明东
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2012.02.023
在经过离子氮化处理的H13钢基体上,采用闭合场非平衡磁控溅射法制备了CrTiAlN硬质涂层,并与未氮化的镀膜试样进行了膜基结合强度、膜层微观结构形貌及相组成的对比.结果表明:离子氮化处理可提高基体硬度,形成硬度梯度过渡；氮化+镀膜复合处理可以显著提高膜基结合强度.
关键词:
离子氮化
,
磁控溅射
,
渗氮层
,
CrTiAlN薄膜
,
结合强度
尚魁平
,
冶艳
,
葛培林
,
江利
,
鲍明东
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2011.04.010
在单晶Si (100)基体上,采用闭合场非平衡磁控溅射方法沉积制备了导电非晶碳膜.X射线衍射(XRD)分析表明薄膜呈明显的非晶结构；用XPS分析了薄膜中的碳键结构,碳膜的C1s峰位于284～285 eV之间,Cls峰分峰拟舍得出sp2C的原子数分数为59％左右,碳键以sp2结构为主；四探针法测得薄膜的电阻率为1.32×10-6Ω·m.可以认为:制备的碳膜是以sp2结构为主的类石墨非晶态薄膜.
关键词:
非晶碳膜
,
磁控溅射
,
微观结构
,
电阻率
冶艳
,
尚魁平
,
鲍明东
,
徐雪波
,
葛培林
,
江利
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2012.01.008
采用封闭非平衡磁控溅射法制备了CrN硬质镀层,以热固性塑料PA66和ABS为其中一个摩擦副,在Pin-on-disc磨损试验机上测试了对磨CrN硬质镀层和M42高速钢时的摩擦系数.应用立体显微镜和扫描电子显微镜对摩擦副表面磨损轨迹的微观形貌及磨屑进行了观察和分析.结果表明:CrN硬质薄膜与M42高速钢对磨PA66和ABS塑料时,CrN硬质薄膜的摩擦系数要比高速钢小,而且数值稳定；塑料直接与高速钢对磨的摩擦系数波动较大.
关键词:
CrN硬质薄膜
,
热固性塑料
,
摩擦系数
,
磨损
