余春燕
,
王社斌
,
尹小定
,
许并社
稀有金属材料与工程
在900℃,循环氧化20 h的试验条件下研究了偏压对CrAlN薄膜抗氧化性的影响.用X射线衍射仪测定薄膜氧化前后的相结构,用场发射扫描电镜观察薄膜氧化前后的表面形貌,并每隔4h测量其氧化增重.结果表明.随着偏压的增加,CrAlN薄膜中的铝含量增加,薄膜的抗氧化性增强.其主要原因是:1)随着铝含量的增...
关键词:
CrAlN薄膜
,
抗氧化性
,
铝含量
尹小定
,
王社斌
,
余春燕
,
田林海
,
许并社
机械工程材料
为了提高H13钢的表面耐磨性能,用直流磁控溅射法在氮化与未氮化的H13钢表面沉积CrAlN薄膜,并对处理前后的摩擦磨损性能进行了比较;用扫描电镜观察薄膜形貌,并测其厚度;测量了随炉硅片的薄膜显微硬度;用摩擦磨损试验机测试了在室温和600℃条件下薄膜的摩擦磨损性能.结果表明:薄膜平均厚度为4.8 μm...
关键词:
H13钢
,
磁控溅射
,
CrAlN薄膜
,
摩擦磨损
张诤
,
尹小定
,
王社斌
,
余春燕
材料导报
采用相同的基底偏压和靶基距离,以N2流量和靶材溅射功率为变量,以热作模具用钢H13和Si片为基底,用直流磁控溅射的方法沉积了CrN和CrAlN膜层.对这2种膜层用SEM测其表面形貌,用X射线衍射测其膜层结构,用M-400-H1测其表面显微硬度,用WS-97划痕仪测其膜层/基体之间的结合强度,用UMT...
关键词:
CrN膜层
,
CrAlN膜层
,
磁控溅射
,
粘结强度
,
磨损
