崔云先
,
杨德顺
,
孙宝元
,
贾颖
,
徐军
功能材料
利用双放电腔微波ECR等离子体增强非平衡磁控溅射技术成功制备了切削刀具测温传感器的SiO_2多层复合绝缘薄膜,研究了SiO_2多层复合绝缘薄膜的制备工艺.通过扫描电镜、原子力显微镜、台阶仪和XPS对SiO_2功能薄膜的表面形貌、膜厚及成分进行了观测,结果表明,制备的多层复合SiO_2薄膜厚度小、绝缘性好,绝缘电阻达到9.5×10~(12)Ω.其与金属基体结合力可达16.7N,满足制作切削刀具测温传感器的要求.
关键词:
切削刀具
,
测温传感器
,
SiO_2绝缘薄膜
,
多层复合
,
磁控溅射
崔云先
,
郭立明
,
盛晓幸
,
丁万昱
,
安阳
,
赵家慧
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2014.07.029
制备绝缘性能良好的 Al2 O 3薄膜是研制薄膜热电偶瞬态温度传感器的关键技术之一.针对直流脉冲磁控溅射制备的 Al2 O 3绝缘薄膜总是存在针孔等缺陷，提出了利用直流脉冲磁控溅射加射频偏压技术成功制备了薄膜热电偶瞬态温度测试传感器的Al2 O 3绝缘薄膜.通过台阶仪、高阻计、扫描电子显微镜和划痕试验仪对 Al2 O 3绝缘膜的成膜厚度、绝缘性、表面形貌及膜基结合力进行了观测，结果表明，制备的 Al2 O 3绝缘膜厚度可达2．4μm；其绝缘性可达2．6×109Ω；薄膜表面光滑，成膜均匀；Al ∶ O 原子比近似为2∶3；与金属基体的结合力可达12 N.提供了一种制备高致密、高绝缘性能 Al2 O 3薄膜的简单有效的方法，为制备瞬态温度传感器提供了技术保障.
关键词:
Al2O3绝缘膜
,
薄膜热电偶
,
性能表征
,
射频偏压
李智
,
吴蒙华
,
刘常升
,
崔云先
,
张世财
电镀与涂饰
doi:10.3969/j.issn.1004-227X.2005.12.004
介绍了一种超声波-黑磷化无硒常温发黑工艺,其发黑液配方及操作条件为:25 g/L的Zn(H2PO4)2·2H2O,40 g/L的 Zn(NO3)2·6H2O,适量NaNO2,温度25～30 ℃, pH 2.5, 时间30 min, 超声功率为200 W.通过比较磷化(伴随超声作用)后无硒常温发黑(伴随超声作用)、无超声作用下磷化后无硒常温发黑、在磷化发黑混合液中进行磷化发黑(有或无超声作用)4种实验方案,结果表明第一种实验方案制得的膜层综合性能最佳,室外放置6个月仍然乌黑、无锈蚀,且耐磨性较好.扫描电镜图显示,该膜层结构致密,表面微裂纹细小,黑度大.EDS分析表明该膜层主要由Fe, Cu, S, O, Zn, P等化学元素组成.
关键词:
常温发黑
,
磷化
,
超声波
,
无硒
