阳运国
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张鸣剑
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潘军
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伍展文
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陈莺飞
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徐小平
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田海燕
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李洁
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崔大健
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林德华
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郑东宁
低温物理学报
doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2008.01.018
研究了一种利用纳米金属掩膜和离子辐照技术在高温超导YBCO薄膜上制备Josephson结的方法.首先用在YBCO薄膜甩上一层800nm左右的光刻胶(PMMA),继而在光刻胶上用直流磁控溅射的方法镀上一层大约300nm左右的Cr膜,利用紫外曝光和离子刻蚀的方法在YBCO薄膜上形成覆盖有Cr膜的微桥,然后,利用聚焦离子束系统(FIB)在微桥上刻出一个50nm左右的狭缝,最后利用120keV的H2+对狭缝内的材料进行辐照,从而使狭缝部分的材料超导电性减弱,形成类似SNS型的Josephson结.
关键词:
约瑟夫森结
,
FIB
,
离子辐照
