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Pyrex玻璃金属化凹坑的湿法腐蚀

崔峰 , 肖奇军 , 吴校生 , 张卫平 , 陈文元 , 赵小林

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.01.053

为在Pyrex玻璃基片上湿法腐蚀出易于金属化(如电镀等)的深凹坑(或凹槽),选用HF:HNO3:H3O为腐蚀液,分别以Cr/Au(30nm/300nm,溅射)加光刻胶(15μm)和Cr/Pt(30nm/300nm,溅射)加光刻胶(15μm)作为掩膜进行腐蚀实验.实验发现在Cr/Pt/光刻胶掩膜下,Pyrex玻璃的腐蚀凹坑横向钻蚀小(钻深比1.34:1),侧壁倾斜光滑,并在凹坑(深约28μm)内成功地电镀了焊盘.该实验结果对要求高深宽比沟槽的微流体器件的制造也有一定参考意义.

关键词: Pyrex , 湿法腐蚀 , 掩膜 , 凹坑 , 电镀

铝-硅合金表面激光合金化处理

田宪法 , 耿浩然 , 郁可 , 刘建同 , 崔峰 , 王宝华

机械工程材料 doi:10.3969/j.issn.1000-3738.2003.08.015

在一定的激光工艺参数下,对ZL108合金含SiO2和硅的涂层进行处理,其合金化组织细化,且出现过共晶组织.含钛+碳+铝涂层经激光处理后,存在TiC和Ti颗粒,提高了合金化层的硬度,明显改善了其摩擦磨损性能.

关键词: 铝-硅合金 , 激光 , 表面合金化

原位生成TiB2/ZA27复合材料的制备与性能

崔峰 , 耿浩然 , 钱宝光 , 田宪法 , 郁可

复合材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-3851.2004.04.018

以Al熔液为载体,采用原位反应生成形状规则、尺寸细小的TiB2颗粒相,再将TiB2颗粒传递到ZA27合金中,形成TiB2颗粒增强的ZA27复合材料.采用合理的熔炼工艺促进了TiB2颗粒在基体中的均匀分布.实验结果显示,TiB2颗粒在ZA27复合材料中,分布均匀,平均直径在3 μm以下.TiB2颗粒的加入使得复合材料的晶粒明显细化,并随着TiB2颗粒含量增加,复合材料的抗拉强度、硬度明显提高,2.1%TiB2/ZA27复合材料与基体合金相比室温抗拉强度提高13%、布氏硬度提高21%,弹性模量也有所提高,在强度、硬度及弹性模量提高的同时,材料的塑性并未恶化,延伸率略有提高,另外,材料的热膨胀系数随着TiB2颗粒的加入有所降低.

关键词: 原位反应 , TiB2 , ZA27复合材料

网状结构Si3N4陶瓷增强金属基复合材料的研究

耿浩然 , 王守仁 , 崔峰

功能材料

利用有机前驱体浸渍法制备了Si3N4网络陶瓷预制体,利用液态金属浸渗法制备出Al基、Mg基复合材料.分析了在浸渗过程中浸渗温度、润湿角、浸渗时间、浸渗高度的相互关系.在压力下金属液克服浸渗阻力,使浸渗得以完成.网络陶瓷骨架孔筋表面覆盖一层氧化膜有利于自发浸渗的进行.合金中适量镁元素的存在使界面上发生轻微化学放热反应,对浸渗有利.指出压力浸渗制备铝基复合材料与无压浸渗制备镁基复合材料的特点.探讨了这种复合材料抗压强度和摩擦磨损性能特点.指出Si3N4/Al复合材料,Si3N4/Mg复合材料抗磨擦性能明显优于基体,抗拉强度大大高于基体.

关键词: 网络结构 , Si3N4陶瓷 , Al基复合材料 , Mg基复合材料 , 浸渗 , 性能

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