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本底真空度和残余气体对激光薄膜光学性能影响的研究

刘旸 , 张国同 , 崔新军

表面技术 doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2015.05.019

目的：提高真空镀膜机镀膜时薄膜的抗激光能力，研究镀膜机箱体内本底真空度和残余气体对激光薄膜光学性能的影响程度。方法借用一台较高配置的真空镀膜机，为了方便定性和定量的研究，可预先有针对性地设定不同的本底真空度，同时配合不同的残余气体等各种情况，来制备激光薄膜。通过对各种激光薄膜的检测，分别研究不同的设...

关键词: 激光薄膜 , 本底真空度 , 抗激光阀值 , 真空设备