冯媛媛
,
杨晓红
,
左佳奇
,
王长远
,
王维
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马勇
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2015.04.019
采用水热法制备了不同掺杂浓度的 WO 3∶Ti 纳米晶粒,并在350℃下退火1 h.采用 SEM、XRD 表征了材料的形貌与结构,并测试了用退火前后合成材料制成的薄膜气敏传感器件在200℃下对NO 2的气敏性能.结果表明,Ti 掺杂可以有效抑制WO 3晶粒的生长,减小晶粒尺寸；退火处理使材料的晶相发生了改变,晶粒尺寸进一步减小,晶粒分散性变好.薄膜传感器件的测试结果显示,适量 Ti 掺杂和退火处理均可提高器件对 NO 2的灵敏度,退火后 Ti 掺杂2％样品制成的器件的灵敏度最大,其值达到了15．38,响应恢复时间分别为2．2和1．5 min,且具有良好的可重复性和稳定性.
关键词:
Ti 掺杂
,
WO 3
,
退火
,
气敏
,
水热法
